Настоящий стандарт определяет принцип измерения, процедуру измерения, расчет и точность результатов испытаний холловской подвижности и концентрации носителей в материалах из арсенида галлия и фосфида индия. Настоящий стандарт распространяется на измерение холловской подвижности и концентрации носителей материалов из арсенида галлия и фосфида индия (включая эпитаксиальные слои арсенида галлия, выращенные на полуизолирующих подложках) с сопротивлением менее 10^(4)Омсм. Он также применим для измерения других полупроводниковых материалов. Поскольку холловская подвижность рассчитывается на основе коэффициента Холла и удельного сопротивления, этот стандарт применяется к однократному измерению этих двух параметров.
SJ 3244.1-1989 История
1989SJ 3244.1-1989 Методы измерения холловской подвижности и концентрации носителей арсенида галлия и фосфида индия