Настоящий стандарт устанавливает тип и основные параметры, технические требования, методы испытаний, правила контроля и требования к стандартному дополнению, упаковке, транспортировке и хранению оборудования для вакуумно-испарительного нанесения покрытий. Настоящий стандарт применим к оборудованию для нанесения покрытий методом вакуумного испарения с предельным давлением в диапазоне 5×10^(-4)Па ~ 5×10^(-3)Па.
JB/T 6922-2004 История
2015JB/T 6922-2015 Установка вакуумно-испарительного нанесения покрытий
2004JB/T 6922-2004 Установка вакуумно-испарительного нанесения покрытий
1993JB/T 6922-1993 Оборудование для вакуумно-испарительного нанесения покрытий