Настоящий стандарт определяет методы испытаний для сканирующей электронной микроскопии. Этот стандарт подходит для тестирования производительности хоста сканирующего электронного микроскопа.
JB/T 6842-1993 История
1993JB/T 6842-1993 Метод испытаний сканирующего электронного микроскопа