Этот стандарт определяет принципы, инструменты и оборудование, предварительную обработку образцов, методы испытаний, методы расчета толщины, оценку неопределенности результатов измерений и протоколы испытаний метода двумерного измерения толщины материала методом атомно-силового микроскопа. Настоящий стандарт применим к измерению толщины двумерных материалов, которые могут образовывать ступени с подложкой.
T/CSTM 00003-2019 История
2019T/CSTM 00003-2019 Измерение толщины двумерных материалов Атомно-силовая микроскопия (АСМ)