GB/T 36401-2018 (Англоязычная версия) Химический анализ поверхности — рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия — отчет о результатах анализа тонких пленок.

сфера применения: Настоящий международный стандарт устанавливает минимальный объем информации, необходимый для отчета об анализе тонких пленок на подложках с использованием XPS. Эти анализы включают измерения химического состава и толщины однородных пленок, а также измерения химического состава неоднородных пленок как функция глубины с помощью XPS с переменным углом, профилирования глубины распыления XPS, анализа формы пиков и XPS с переменной энергией фотонов.

GB/T 36401-2018 Ссылочный документ

ISO 18115-1:2010 Химический анализ поверхности. Словарь. Часть 1. Общие термины и термины, используемые в спектроскопии.

2018 GB/T 36401-2018 Химический анализ поверхности — рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия — отчет о результатах анализа тонких пленок.