ASTM F1227-89(1999)
Метод испытаний на общую потерю массы материалов и конденсацию выделившихся летучих веществ на подложках, связанных с микроэлектроникой (отозвано в 2000 г.)
- Стандартный №
- ASTM F1227-89(1999)
- Дата публикации
- 2021
- Разместил
- American Society for Testing and Materials (ASTM)
- Последняя версия
- ASTM F1227-89(1999)
- сфера применения
- 1.1 Этот метод испытаний распространяется на различные термопласты и реактопласты, обычно используемые в микроэлектронной промышленности. Этот метод испытаний охватывает метод скрининга для определения содержания летучих веществ в этих материалах при воздействии вакуума. Измеряются два параметра: общая потеря массы (TML) и собранные летучие конденсирующиеся материалы (CVCM). 1.2 В настоящем методе испытаний описывается испытательное оборудование и связанные с ним рабочие процедуры для оценки потери массы материалов, подвергаемых воздействию 25°С, 70°176 или 125°С при давлении менее 5 Па (0,05 мбар) в течение 24 часов. Самая низкая температура имитирует условия хранения, а средняя и верхняя температуры моделируют условия мягкого и жесткого обжига, встречающиеся при производстве микроэлектроники. По общей потере массы можно разделить на неконденсирующиеся и конденсирующиеся вещества. Последние характеризуются здесь как способные конденсироваться на кремниевой пластине, стеклянной пластине, алюминиевом диске или другой подложке, поддерживаемой при температуре 18°С. Примечание 1. Если не указано иное, допуски составляют 18°C + 3°C, 25°C + 1°C, 70°C + 1°C и 125°C + 1°C. 1.3. Испытаниям подлежат любые термопласты и реактопласты. Материалы могут быть испытаны в состоянии «как получены» или подготовлены к испытаниям после различных этапов отверждения или производства. 1.4 Этот метод испытаний представляет собой, прежде всего, метод проверки материалов и не обязательно пригоден для расчета фактического загрязнения системы или компонента из-за возможных различий в конфигурации, температурах и обработке материалов. Три температуры позволяют проводить испытания с учетом максимальной ожидаемой рабочей температуры. Кроме того, многие полимеры нельзя тестировать при температуре 125°С, поскольку они плавятся или подвергаются стеклованию при температуре выше 70°С. 1.5 Использование материалов, которые считаются приемлемыми в соответствии с данным методом испытаний, не гарантирует, что система или компонент останутся незагрязненными. Поэтому, при необходимости, следует использовать последующие функциональные, опытно-конструкторские и квалификационные испытания, чтобы гарантировать удовлетворительные характеристики материала. 1.6 Пока нет данных для оценки минимального размера выборки. Были использованы образцы размером всего 130 мг. 1.7 Значения, указанные в единицах СИ, следует считать стандартными. Значения, указанные в скобках, предназначены только для информации. 1.8 Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием.
ASTM F1227-89(1999) Ссылочный документ
- ASTM E595 Стандартный метод испытаний на общую потерю массы и сбор летучих конденсирующихся материалов в результате газовыделения в вакуумной среде
ASTM F1227-89(1999) История
- 2021 ASTM F1227-89(1999) Метод испытаний на общую потерю массы материалов и конденсацию выделившихся летучих веществ на подложках, связанных с микроэлектроникой (отозвано в 2000 г.)
