GB/T 40279-2021
Метод испытания толщины пленок на поверхности кремниевой пластины — метод оптического отражения. (Англоязычная версия)
- Стандартный №
- GB/T 40279-2021
- язык
- Китайский, Доступно на английском
- Дата публикации
- 2021
- Разместил
- 国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
- Последняя версия
- GB/T 40279-2021
- сфера применения
- В этом документе указан метод измерения толщины пленки диоксида кремния и пленки поликремния на поверхности кремниевой пластины методом оптического отражения. Этот документ подходит для тестирования толщины мелкой пленки диоксида кремния и пленки поликремния, выращенной на поверхности кремниевой пластины. , а также для всех гладких, прозрачных или полупрозрачных пленок с низким коэффициентом поглощения, таких как аморфный кремний, нитрид кремния, алмазоподобное покрытие, фоторезист и другие поверхностные пленки. Диапазон испытаний составляет от 15 до 105 нм.
GB/T 40279-2021 Ссылочный документ
- GB/T 14264 Полупроводниковые материалы. Термины и определения
GB/T 40279-2021 История
- 2021 GB/T 40279-2021 Метод испытания толщины пленок на поверхности кремниевой пластины — метод оптического отражения.
