CNS 13624-1995
Методы испытаний кристаллографического совершенства арсенсида галлия методом травления расплавленным гидроксидом калия (КОН) (Англоязычная версия)

Стандартный №

CNS 13624-1995

язык

Китайский, Доступно на английском

Дата публикации

1995

Разместил

Taiwan Provincial Standard of the People's Republic of China

Последняя версия

CNS 13624-1995

сфера применения

1.1 Этот метод проверки используется для определения того, является ли слиток или чип арсенида галлия монокристаллом. Если это монокристалл, его также можно использовать для измерения плотности ямок травления (EPD, Etch Pit Density) и определения характера дефекта. 1.2 Этот метод подходит для монокристаллов арсенида галлия с плотностью отверстий травления от 0 до 200 000/c㎡. 1.3 Его можно применять к кристаллам арсенида галлия независимо от того, легированы они или нет и имеют разные электрические свойства. Вертикальный квадрат лицевой стороны образца

CNS 13624-1995 История

• 1995 CNS 13624-1995 Методы испытаний кристаллографического совершенства арсенсида галлия методом травления расплавленным гидроксидом калия (КОН)