GB/T 10067.416-2019 Основные технические условия на установки электронагрева и электромагнитной обработки. Часть 416. Печь для слитков поликремния. (Англоязычная версия)
2019GB/T 10067.416-2019 Основные технические условия на установки электронагрева и электромагнитной обработки. Часть 416. Печь для слитков поликремния.