JEITA EM3603B-2006
Стандарт пластин КНИ и метрология

Стандартный №

JEITA EM3603B-2006

Дата публикации

2006

Разместил

JP-JEITA

сфера применения

Этот стандарт определяет стандарты тонкопленочных пластин КНИ для МОП-устройств и их метрологию.