Настоящий международный стандарт определяет метод измерения локальной толщины металлических покрытий путем исследования поперечных сечений с помощью сканирующего электронного микроскопа (СЭМ). Он разрушительен и имеет неопределенность менее 10 % или 0,1 мкм, в зависимости от того, что больше. Его можно использовать для толщин до нескольких миллиметров, но обычно более практично использовать световой микроскоп (ISO 1463), когда это применимо.