JEDEC JESD92-2003 Методика характеристики временного пробоя сверхтонких затворных диэлектриков - Стандарты и спецификации PDF

JEDEC JESD92-2003
Методика характеристики временного пробоя сверхтонких затворных диэлектриков

Стандартный №
JEDEC JESD92-2003
Дата публикации
2003
Разместил
(U.S.) Joint Electron Device Engineering Council Soild State Technology Association
сфера применения
В этом документе определена процедура стресс-теста при постоянном напряжении для определения зависящего от времени пробоя или «износа» диэлектриков с тонким затвором. Тест предназначен для получения параметров ускорения по напряжению и температуре, необходимых для оценки срока службы оксида в условиях эксплуатации. В отличие от ускоренных испытаний с линейной нагрузкой, которые рассчитаны на чрезвычайно быструю скорость и выполняются на уровне пластины, процедура испытания при постоянном напряжении может проводиться в течение длительных периодов времени. Его можно применять на уровне пластины или в корпусных устройствах.



© 2023. Все права защищены.