ANSI/CGA G-13-2006 Хранение и обращение с силаном и силановыми смесями - Стандарты и спецификации PDF

ANSI/CGA G-13-2006
Хранение и обращение с силаном и силановыми смесями

Стандартный №
ANSI/CGA G-13-2006
Дата публикации
2006
Разместил
American National Standards Institute (ANSI)
сфера применения
Описывает хранение и обращение с силаном и его смесями, включая практические методы, применимые для производителей, поставщиков и конечных пользователей силана. G-13 посвящен системам доставки силана в баллонах и в больших объемах для сообщества пользователей полупроводников; включая хранение и обращение на площадке пользователя, а также инструкции по соединительной системе трубопроводов до распределительных трубопроводов на производственном объекте. Рекомендуются расстояния понижения с учетом теплового излучения, а также избыточного давления, возникающего в результате воздействия взрывной волны из-за задержки воспламенения.

ANSI/CGA G-13-2006 - Все части




© 2023. Все права защищены.