BS ISO 20341:2003(2010) Химический анализ поверхности. Вторично-ионная масс-спектрометрия. Метод оценки параметров разрешения по глубине с использованием нескольких эталонных материалов дельта-слоя.
2003BS ISO 20341:2003 Химический анализ поверхности. Масс-спектрометрия вторичных ионов. Метод оценки параметров разрешения по глубине с использованием эталонных материалов с несколькими дельта-слоями.